项目名称: 原子级反应真空获取及控制系统（SCUT-HW-JJ20260454号）采购公告

项目编号: SCUT-HW-JJ20260454号

招标公司: 华南理工大学

采购标的物: 原子级反应真空获取及控制系统

项目地区：广东 广州

免费查看原文

项目名称 原子级反应真空获取及控制系统 项目编号 SCUT-HW-JJ20260454号

公示开始日期 2026-10-10 09:53:34 公示截止日期 2026-10-13 10:00:00

采购单位 华南理工大学 付款方式 验收合格后双方签字盖章，凭发票30天内一次性付清；

联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看

签约时间要求 成交后21工作日 到货时间要求 签约后30工作日

预算 ￥ 190,000

供应商资质要求

满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定

收货地址 广州市天河区五山路381号华南理工大学五山校区

采购清单 1

采购物品 采购数量 计量单位 所属分类 是否进口

原子级反应真空获取及控制系统 1 套 其他机械设备 否

品牌 北加州电子

规格型号 MPC3

技术参数 1.确保对接反应腔室后，本底真空＜0.05Torr，真空漏率＜5E-7Pa·L/S；

2.真空管路：腔室抽气端真空管路具有加热功能，加热温度RT-150℃；

*3.真空泵：机械泵一套，抽速≥60m3/h，真空泵前级配置热阱，可以加热至500℃，防止前驱体源在管路内冷凝。

4.真空计：全量程皮拉尼真空计1个+工艺薄膜真空计1个，测量范围5E-5Torr-大气压，精度满量程的±1%；真空计前设有保护真空计的过滤网以及气动隔膜阀；

5.高精度PLC+工控机+沉积自动控制软件组成的控制系统；图像化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数；多用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保安全性；沉积模式：连续模式、停流模式；人机界面：外挂式触摸屏，可自由选择悬停位置

*6.在不大于直径8英寸尺寸的载板或样品台内放置25片2.5cm×2.5cm硅片或碎硅片作为测试片，厂家提供工艺配方，沉积 300 循环氧化铝，膜厚非均匀性NU≤±2%为合格；

售后服务 服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;

华南理工大学

2026-10-10 09:53:34

免费查看最新招中标公告