中山大学化学机械抛光系统
- 2026-04-13
项目名称: 化学机械抛光系统
招标公司: 中山大学
采购标的物: 化学机械抛光系统设备
项目地区：广东 广州
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中山大学微电子科学与技术学院化学机械抛光系统设备采购项目
发布时间： 2026-04-10 17:53
项目概况
采购类型 采购
项目编号 中大招（货）[2026]016号
项目名称 中山大学微电子科学与技术学院化学机械抛光系统设备采购项目
申购主题 化学机械抛光系统
项目类型 货物采购 项目预算 ***
最高限价 500,000.00(人民币)
报名及响应开始时间 2026-04-10 17:53 报名及响应结束时间 2026-04-17 09:00
采购单位 中山大学
经办人 王老师 经办人电话 84115092
期望收货时间 合同签订后120天内交货
是否送货 是 送货地址 广东省珠海市香洲区中山大学珠海校区瀚林2号A526实验室
电子签章 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（/article/4902）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。6、如为进口免税报价，报价产品或报价产品的原产国属于国务院关税税则委员会公告的加征关税范围的，该产品的评审价=[供应商的免税报价×（1+本项目通知磋商谈判开始时间的国务院关税税则委员会公告的加征关税税率）]，如高于项目最高限价/预算价，则报价无效。
采购明细
1 采购设备 化学机械抛光系统
数量 1台
参考品牌
“化学机械抛光系统”技术要求
序号 技术要求内容 评分等级 是否星号条款 是否需要附件说明
1 抛光单元模块可用于4英寸及1cm*1cm可吸附方片夹具的硅基、玻璃基、化合物基晶圆及其表面薄膜层化学机械抛光。 重要 否 否
2 抛光头为气囊式加压，控制精度不低于0.1psi；腔数量不少于5腔，保持环不少于1个，抛光腔不少于3个，真空吸附腔不少于1个，抛光头转速：5-90rpm，精度不低于±1rpm。 重要 否 是
3 抛光盘的直径为250mm~300mm之间，抛光垫转速盖10-120rpm，精度不低于±1rpm。 重要 否 否
4 活化单元和抛光头需为水平对称结构，设备需配备活化单元清洗模块，并预留盘温监控，自动冷却接口。 重要 否 是
5 抛光液供应泵为蠕动泵（带搅拌功能）供液，供液范围：0-250ml/min。 重要 否 否
6 ▲操作控制系统：控制系统可实现用户分级控制，如操作员模式、维护模式和技术模式等，各种模式通过密码控制。系统软件可对每个工艺步骤的工艺参数进行编辑，按程序对晶片表面薄膜进行平坦化抛光。具有紧急停止按钮，用来立即停止设备动作并切断控制电源。 非常重要 否 是
7 ★工艺性能：对于4英寸氧化硅去除，使用原厂提供的抛光液能达到：抛光速率≥100nm/min；晶圆抛光片内均匀性≤5%（RR_NU%，去除量均匀性），去边5mm；晶圆抛光片间均匀性≤3%（RR_NU%，去除量均匀性），去边5mm；抛光后表面粗糙度（RA）≤1nm。（投标时提供同型号产品测试报告）。 非常重要 是 是
8 需为落地式设备，设备尺寸长x宽x高（cm）不大于100 cm *100 cm *140 cm。 重要 否 否
9 ▲包含但不限于：1个1cm*1cm可吸附方片夹具、1个抛光盘、1个修整臂、1个UPA （均匀压力施加）单元、1个抛光液供应泵、1个Slurry Arm（抛光液喷淋臂），1套操作控制系统、20kg抛光液。 非常重要 否 是
资质要求
序号 要求名称 条件类型 要求内容 是否需要附件说明
1 第1条资质参数 符合性参数 上传营业执照(副本原件扫描件)
是
2 第2条资质参数 符合性参数 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章）
是
3 第3条资质参数 符合性参数 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）
是
4 第4条资质参数 符合性参数 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）
是
商务要求
序号 要求名称 要求内容 是否需要附件说明
1 免费保修年限 2年
3年
4年及以上
是
2 合同履约 该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址：/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （2）本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。
否
3 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）
厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）
其他授权销售方式
是
4 售后服务要求 1.供应商须在发货前协助采购人用户完成安装条件的准备工作；2.收到采购人用户安装条件就绪的通知后，供应商方需委派安装工程师在3天内到安装现场进行设备的安装和调试；3.保修期内如用户在设备使用过程中出现故障，供应商须在接到故障通知后即时响应，并在48小时内安排上门服务，如故障需要更换零配件，供应商须在7个工作日内将配件调配到位并将设备维修好；4.每年至少提供一次上门检修服务； 5.质量保证期内中标（成交）供应商对所供货物实行包修、包换、包退、包维护保养，保修期后设备维修配件更换只收取成本费用。
是
5 培训要求 设备安装完成后，由专业应用技术工程师进行产品使用的培训工作，培训包括但不限于该设备结构、工作原理、故障判断、故障处理、设备的正常操作、维护、保养等相关内容，直到至少2名操作人员能够熟练使用设备为止。
是
欢迎供应商 注册 投标 ，如有疑问请联系技术支持QQ: 1933416688
1.报名须知：
a、请登录wisdombidding.com选择相应项目，点击界面下方“我要报价”按钮。
b、首次访问的用户需注册，经系统审核后，再登录查看可报名项目，按系统提示报名。
c、报名材料除产品彩页外均需加盖公章，扫描上传。
2、注册审核时间为（工作日8：30 - 17:30），一般为当个工作日。
3、缴费确认时间（工作日8：30 - 17:30）：
a、对公转账一般到账时间需要四个小时，缴费确认需要四个小时以上，节假日期间请使用微信支付。
b、推荐使用微信支付，微信支付实时到账系统自动确认收款，可马上报价。
4、资料准备时间为1-2日，报价材料除产品彩页外均需加盖公章，请供应商提前准备。
5、供应商第一次报价可能需要较长时间，请提前报价。
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受理报名截止时间： 2026-04-17 09:00
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