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半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购(第二批)

  • 2025-12-26

项目名称: 半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购(第二批)

项目编号: GDUTBC2025066

招标公司: 广东工业大学

中标公司: 江苏融科装备科技股份有限公司

采购标的物: 招标文件审核招标文件制作光刻

项目地区:广东 广州

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采购状态 确认采购结果

采购计划信息

申报计划月份: 2024年3月份

计划编号: JH202510469

申报部门: 集成电路学院

填表人: ***

填表时间: 2025-10-31

采购项目信息

采购项目(品目)名称: 半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购(第二批)

采购类型: 招标采购

预算: 1,850,000.00 元

采购方式: 公开招标

联系人: ***

联系电话: ***

备注:

招标设备信息

设备名称 类别 单价(元) 数量 需求时间

光刻-通风橱(半自动显影台)-二次配系统 实验室设备 74600.00 1 套 2025-11-28

光刻-全自动涂胶显影机-二次配系统 实验室设备 141000.00 1 套 2025-11-28

刻蚀-01-二次配系统 实验室设备 305000.00 1 套 2025-11-28

扩散1灰区--二次配系统 实验室设备 67000.00 1 套 2025-11-28

扩散2-氧化扩散炉02-二次配系统 实验室设备 106000.00 1 套 2025-11-28

刻蚀-02-二次配系统 实验室设备 292300.00 1 套 2025-11-28

光刻-通风橱(手动显影)-二次配系统 实验室设备 66100.00 1 套 2025-11-28

扩散1-低压化学气相沉积系统-二次配系统 实验室设备 370000.00 1 套 2025-11-28

镀膜-等离子体原子层沉积-二次配系统 实验室设备 177000.00 1 套 2025-11-28

光刻-通风橱(匀胶、前烘)-二次配系统 实验室设备 41000.00 1 套 2025-11-28

镀膜-磁控溅射机-二次配系统 实验室设备 100000.00 1 套 2025-11-28

扩散1-氧化扩散炉01-二次配系统 实验室设备 110000.00 1 套 2025-11-28

采购(招标)委托

委托编号: WT2025102498

经费项目名称: 面向行业领域应用的智能检测关键技术,智能伺服电机基础理论与原型器件研制,

经费来源: 发展规划处、学科建设办公室、高等教育研究所,

支出科目代码: 1187-26331300701,1187-26331300601,

设备用途: 教学

委托经办人: ***

联系电话: ***

方案附件:

***

招标项目信息

半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购(第二批)

项目招标编号: GDUTBC2025066

招标采购申请时间: 2025-10-31

招标采购方式: 公开招标

总预算(元): 1,850,000.00

招标代理机构: 广东省机电设备招标有限公司

收到初稿时间: 2025-11-03

招标文件审核时间: 2025-11-17

招标公告时间: 2025-11-25

开标时间: 2025-12-16

子包一

招标执行信息:

1 委托申请

2 招标采购申请

3 招标文件制作

4 招标文件审核

5 招标公告

6 招标结果公告

7 中标通知

8 已签合同

9 已供货

10 已验收

11 已付款

预算(元): 1,850,000.00

招标结果: 招标成功

招标结果时间: 2025-12-26

投标供应商: *** 江苏融科装备科技股份有限公司,上海韩科科技股份有限公司,北京世源希达工程技术有限公司,邦安建设集团有限公司,益安科技工程股份有限公司

中标供应商: 江苏融科装备科技股份有限公司

中标金额(元): 1823660.00

中标联系人: 谢莹红

中标联系人手机: 查看完整信息

收到中标通知书时间: 2025-12-18

合同号: ***

签合同时间: ***

货期(天): ***

预付款(元): *** 0

应到货时间: ***

应验收时间: ***

应付款时间: ***

上传合同文件: ***

供货时间: ***

验收时间: ***

付款时间: ***

付款金额(元): *** 0

备注:

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