中山大学2025年12至1月政府采购意向-中山大学电子与信息工程学院电感耦合等离子体刻蚀系统-氧化铝&氮化硅采购项目

项目名称: 中山大学2025年12至1月政府采购意向-中山大学电子与信息工程学院电感耦合等离子体刻蚀系统-氧化铝&氮化硅采购项目

招标公司: 中山大学

采购标的物: 氧化铝、电感耦合等离子体刻蚀系统、氮化硅

项目地区：广东 广州

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中山大学电子与信息工程学院电感耦合等离子体刻蚀系统-氧化铝&氮化硅采购项目

项目所在采购意向： 中山大学2025年12至1月政府采购意向

采购单位： 中山大学

采购项目名称： 中山大学电子与信息工程学院电感耦合等离子体刻蚀系统-氧化铝&氮化硅采购项目

预算金额： 320.000000万元(人民币)

采购品目：

A02052402真空应用设备

采购需求概况：

为满足团队在微纳加工领域的科研与生产需求，现拟采购一套高性能电感耦合等离子体（ICP）刻蚀系统，主要用于氧化铝（Al？O？）和氮化硅（Si？N？）材料的精确刻蚀加工。具体需求如下：系统类型：电感耦合等离子体（ICP）刻蚀系统，支持高精度、可控的微纳结构加工。适用材料：氧化铝（Al？O？）氮化硅（Si？N？）主要性能指标：具有良好的各向异性刻蚀能力，确保高纵横比结构的精确加工。具有多种刻蚀气体兼容性（如BCl？、CHF？、N？、Ar等），支持多种工艺需求。具备先进的气体控制系统，确保刻蚀过程的稳定性和重复性。具备高均匀性（≥±2%）的刻蚀效果，适用于大面积工件。支持多种刻蚀参数的快速调节和程序存储。系统配置要求：配备高效的真空系统，确保良好的气体密封和稳定运行。具备实时监控和自动调节功能，确保工艺一致性。简便的操作界面与维护系统，方便操作人员培训和日常维护。售后服务及技术支持：提供完善的售后服务，包括设备调试、培训、维护等。提供必要的技术支持与工艺优化建议。

预计采购时间： 2026-01

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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