南方科技大学兆声清洗系统采购公告

项目名称: 兆声清洗系统采购公告

项目编号: SUSTech-JC-2查看完整信息

招标公司: 南方科技大学

采购标的物: 兆声清洗系统

项目地区：广东 深圳

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南方科技大学 SUSTech-JC-2查看完整信息 竞采采购公告

项目名称 兆声清洗系统

项目编号 SUSTech-JC-2查看完整信息

项目类型 货物类

成交方式 最低价成交

采购方式 公开竞采

公告开始时间 2025-06-09 15:31:10

公告结束时间 2025-06-16 15:31:10

预算(元) 250000.00

项目预算是否含税 国产含税

备注

采

购

明

细

序号 名称 数量 单位

1

兆声清洗系统 （核心货物）

1

台

是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

整机及控制模块：

1.1 PLC控制，触摸屏显示，操作简单友好；自由修改、编辑、存储、转移及调用工艺配方

1.2 FFU净化

1.3 设备运行峰值噪音<70分贝

1.4 外形尺寸小于1000(L)×1000(W)×2000mm(H)

1.5 电压220V，功率<4kW

湿法清洗模块：

2.1 兆声波频率≥1MHz

2.2 兆声喷头角度可调

2.3 内胆防腐材质，适应各种酸碱及有机溶剂

2.4 清洗时间可调

2.5 漏液防护/监测

晶圆旋转模块：

3.1 适用晶圆尺寸4-12inch

3.2 转速可调

干燥模块：

4.1 氮气吹干

质保期

1.质保期：设备保修期为一年

2.为保证售后服务质量，设备必须提供制造厂家授权文件和售后服务承诺

3.所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件）

售后要求

必要时需提供现场技术咨询；技术人员现场培训；半年1次的免费仪器保养；保内维修需做到: 软件免费重装，硬件维修。

付款方式 合同生效并甲方收到乙方开具相应发票之日起（10）个工作日内支付合同总额的（70）%作为进度款。甲方应在货物交付、安装调试、试运行及验收合格之日起（10）个工作日内向乙方支付本合同价款总额的（30）%。

交货期 合同签订后90天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前7天（自然日）通知送货

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