微波等离子体沉积设备（JLU-KC25022）成交结果公告

项目名称: 微波等离子体沉积设备（JLU-KC25022）成交结果公告

项目编号: JLU-KC25022

招标公司: 吉林大学

采购标的物: 微波等离子体沉积设备

项目地区：广东 珠海

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项目名称:微波等离子体沉积设备

项目编号:JLU-KC25022

公告开始日期:2025-06-03 08:28:04

采购单位:吉林大学

到货时间要求:国内合同签订后20个日历日内

预算总价:True

收货地址:广东省珠海市金湾区吉林大学珠海研究院产学研示范楼107室

采购商品:微波等离子体沉积设备

采购数量:1

计量单位:台

所属分类:其他真空获得及应用设备

品牌:碳方程

型号:TFC-10800C

技术参数及配置要求:1.微波源1.1微波功率：2450 MHz 1.2输出功率：1.1-10 KW ：±15 mm 2.2样品台直径：不小于Φ80mm； 2.3基片测温：红外测温范围300—1400 ℃3.反应室3.1极限真空压力：极限真空度优于1.3 Pa（双级旋片泵）3.2真空泄漏率：≤0.5×10-10Pa.m3/s。3.3反应气体：4 路流量控制器（H2、CH4、O2、N2）3.4工作气压：2 torr—200 torr4偏压系统 4.1偏压参数 ：输出电压：0-800 V(空载1000 V)4.2输出电流：0-8 A4.3控制精度: 1%，占空比0-99

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