项目名称: MEMS传感器实验室研发设备购置及平台建设项目招标公告-招标公告及资格预审

招标公司: 广东粤海水务科技有限公司

采购标的物: 金相显微镜、矢量网络分析仪、手套箱

项目地区：广东 广州

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招标项目名称:MEMS传感器实验室研发设备购置及平台建设项目

标段（包）名称:MEMS传感器实验室研发设备购置及平台建设项目

相关统一交易标识码:A07-9查看完整信息813B-20261104-000001-0

公告性质:正常公告

公告内容

投资项目代码

投资项目名称 MEMS传感器实验室研发设备购置及平台建设项目

招标项目名称 MEMS传感器实验室研发设备购置及平台建设项目

标段（包）名称 MEMS传感器实验室研发设备购置及平台建设项目 公告性质 正常公告

资格审查方式 资格后审

招标项目实施(交货)地点 广东省·深圳市·市辖区

资金来源 自筹 资金来源构成 招标项目资金来自国有资金，出资比例为100%

招标范围及规模 项目概况与招标范围2项目概况MEMS智能传感器作为集成电路产业的重要组成部分，是物联网、人工智能等新兴技术发展的基础，也是国家战略发展的重要方向。广东粤海水务科技有限公司立足国家战略与粤海发展需要，购置一批MEMS传感器实验室关键研发设备，以构建较为完整的研发平台，为水务场景下MEMS传感器的技术攻关、产品研发与工程验证提供自主可控的感知层技术支撑，助力国产MEMS传感器在水务这一重要领域实现规模化应用与产业化突破。本项目地点：武汉、深圳招标内容本项目旨在打造一个集工艺研发、器件制备、性能测试于一体的MEMS传感器研发实验室，具体包括：（1）MEMS微纳研发工艺平台建设，购置掩膜式半自动光刻机、磁控溅射仪、蒸镀仪、手套箱、深硅刻蚀设备、平行封焊机、引线键合机等设备；（2）MEMS器件及测试平台建设，购置半导体参数分析仪、矢量网络分析仪、探针台、显微式激光多普勒测振仪、金相显微镜、高低温冲击试验箱等测试设备。

招标内容 本项目旨在打造一个集工艺研发、器件制备、性能测试于一体的MEMS传感器研发实验室，具体包括：（1）MEMS微纳研发工艺平台建设，购置掩膜式半自动光刻机、磁控溅射仪、蒸镀仪、手套箱、深硅刻蚀设备、平行封焊机、引线键合机等设备；（2）MEMS器件及测试平台建设，购置半导体参数分析仪、矢量网络分析仪、探针台、显微式激光多普勒测振仪、金相显微镜、高低温冲击试验箱等测试设备。

工期（交货期） 项目工期：本项目合同有效期为自合同签订之日起至合同双方义务履行完毕。 本项目拟分如下里程碑节点实施： （1）本项目计划于2026年12月完成第一批设备的到货和安装、调试工作； （2）2027年3月完成核心设备的安装调试； （3）2027年7月完成各项设备的整体验收。 如甲方另有要求，以甲方要求为准。

最高投标限价 9120000.00元

是否接受联合体投标 否

投标资格能力要求 投标人资格要求 本次招标要求投标人须具备以下条件3.1.1资质要求：在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，投标（响应）时提交有效的营业执照（或事业法人登记证等相关证明）副本复印件。分支机构投标的，须提供总公司和分公司营业执照副本复印件，总公司出具给分支机构的授权书。3.1.2财务要求：投标人不能处于财产被接管、破产状态。3.2投标人未被“信用中国”网站（）列入失信被执行人、重大税收违法失信主体。（①以评审当日招标代理机构在“信用中国”网站（）查询结果为准，处罚期限届满的除外；②招标人或招标代理机构同时对信用信息查询记录和证据截图或下载存档）。投标人存在不良信用记录的，其投标将被作为无效投标。3.3 本次招标不接受联合体投标。

投标人业绩要求 资格业绩要求：投标人自 2023 年 1 月 1 日起至投标截止时间止（以合同签订日期为准），具有半导体设备类项目业绩一项，该单项合同金额≥500 万元（含税），且合同交付内容至少包含掩膜式半自动光刻机、磁控溅射仪、深硅刻蚀机三类设备中的一类。同类型业绩证明材料应同时满足以下要求：①提供满足要求的同类型业绩合同（提供合同关键页扫描件，包括首页、合同范围页、合同金额页、签署页等）及对应的发票或免税证明，合同签订时间及发票开具时间均须在上述期间内，合同关键页须体现上述相关信息，如未体现、则须提供甲方证明文件（加盖甲方公章）。②提供单项合同已开发票的扫描件或免税证明扫描件（累计发票或免税证明扫描件金额大于或等于100万元），未提供发票扫描件或免税证明扫描件的视为无效业绩。③如近年来，投标人法人机构发生合法变更或重组或法人名称变更时，应提供相关部门的合法批件或其他相关证明材料来证明其所附业绩的继承性。④同类型业绩内容若与上述系统名称存在名称差异但功能等同的情况，视作符合要求。

是否采用电子招投标投标方式 是 获取招标文件方式 下载招标文件的网络地址

获取纸质招标文件的方式 无纸质

获取招标文件开始时间 2026-11-05 00:00:00 获取招标文件截止时间 2026-11-26 09:30:00

递交投标文件截止时间 2026-11-26 09:30:00 投标文件递交方式 投标人应在截止时间前通过广东省公共资源交易中心工程建设项目招投标中心交易平台递交电子投标文件。投标人完成电子投标文件上传后，交易平台即时向投标人发出递交回执通知。递交时间以递交回执通知载明的传输时间为准。若投标人不参加开标会的，其投标文件在开标现场的投标人或招标人代表、招标代理机构代表及交易中心代表见证下公开开启、解密、公布，并视同该投标人认可开标结果。

开标时间 2026-11-26 09:30:00 开标地点 广东省公共资源交易中心工程建设项目招投标中心交易平台

发布公告媒介 本项目招标公告同时在中国招标投标公共服务平台、广咨电子招投标交易平台、广东省公共资源交易中心工程建设项目招投标中心网站、粤采易阳光采购平台上发布。本项目招标公告的修改、补充，在广东省公共资源交易中心工程建设项目招投标中心网站发布。

招标人 广东粤海水务科技有限公司 联系地址 广州市白云区三元里街道云霄路88号A栋301房

招标人联系人 何先生 联系电话 查看完整信息

招标代理机构 广东省机电设备招标有限公司 联系地址 广州市环市中路 316 号金鹰大厦9楼

招标代理联系人 谢工、杨工 联系电话 查看完整信息

招标监督机构 广东粤海水务科技有限公司 联系电话 查看完整信息

其他依法应当载明的内容 无

附件：MEMS传感器实验室研发设备购置及平台建设项目（定稿）.docx 附件：投标报价表.xlsx

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