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南方科技大学薄膜输运测试自动化传输系统采购采购公告

  • 2026-10-08
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项目名称: 薄膜输运测试自动化传输系统采购采购公告

项目编号: SUSTech-JC-2查看完整信息

招标公司: 南方科技大学

采购标的物: 薄膜输运测试自动化传输系统

项目地区:广东 深圳

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南方科技大学 SUSTech-JC-2查看完整信息 竞采采购公告

项目名称 薄膜输运测试自动化传输系统采购

项目编号 SUSTech-JC-2查看完整信息

项目类型 货物类

成交方式 最低价成交

采购方式 公开竞采

公告开始时间 2026-10-08 19:42:45

公告结束时间 2026-10-14 19:42:45

预算(元) 499850.00

项目预算是否含税 国产含税

备注

采

购

明

细

序号 名称 数量 单位

1

薄膜输运测试自动化传输系统 (核心货物)

1

套

是否接受进口

拒绝进口

品牌

高朋、慧灵、睿思

型号

GP-FLM-A300、Z-NKD-BM、JZX-Lab-V2

技术规格及参数

1.1 执行机构单元:实现高负载、长距离的样品转运功能。机械臂臂展≥922mm,负载≥5kg;配备一体化柔性电动夹爪,行程≥35mm,可有效完成样本前处理作业;

1.2 配套附件单元:脚踏开关或光电传感器,可适配手套箱大小仓的关门动作需求;

1.3 机架单元:机架及防护外壳,符合整机集成与外观一致性要求;

2.1 采用四轴机械臂,自由度为4;

2.2 1轴臂长为 275 mm,2轴臂长为 225 mm,臂展为 500 mm;1 轴旋转角度为 ±90°;2 轴旋转角度为 ±164°;Z 轴行程为 410 mm;负载≥ 5 kg;重复定位精度优于 ±0.05 mm;线速度≥1400mm/s;机械臂整机重量<30kg;支持碰撞检测与拖动示教;

2.3 夹具总行程≥ 20 mm;夹具加持力范围30~80 N;

2.4 视觉模块像元尺寸为 1.85 μm×1.85 μm;分辨率为 4024×3036;最大帧率为 9.7 fps;曝光时间为 34 μs~2 s;

2.5 吸盘治具驱动方式为电动;吸力范围 10~50 N;吸嘴材质为软质硅胶或导电硅胶(防划伤、防 ESD);

3.1 线性电机单元:精确控制底部探针与样品载具之间的接触,形成稳定电流通路,用于薄膜输运性能的电学测试。可实现探针杆组件与 CPMS-9S 冷箱中心口的自动横移对位、下降插入与密封对接;

3.2.X轴行程≥250mm;Z轴行程≥1000mm;中心口对位精度≥0.5mm;

3.3 Z 轴升降电机配电磁失电制动器(断电自锁),防止垂直负载意外下滑;

3.4 加工件为无磁材料,包括但不限于铝合金、SUS304;

4.1 单次测试基片数量≥12 个,每片测试端数≥4端;

4.2接触样品的方式为线性电机驱动弹针主动下压;

4.3 可与Cryodev CPMS-9S冷箱型号对接;

5.1 系统应兼容 RS485、RS232、I/O、MQTT、TCP/IP、Modbus_TCP/RTU协议中的至少两种;系统具备与 LIMS/MES 系统、第三方设备及各组件进行数据交互的能力;系统支持使用边缘控制器进行控制;

5.2 电控系统,以动态资源优化为核心,通过多维度算法实现产线任务的智能编排与高效执行,并支持跨平台协作与全流程监控;采用B/S架构,可在 PC、平板终端无缝运行,实现多任务并行处理;集成智能排程引擎,可根据任务类型、设备状态及资源占用动态调整执行顺序;支持自动化预排程模式、优先级插入模式、AGV 调度、机械臂上下料、低温工位对接密封、分片收料产线工序编排及动态容错机制;提供拖拽式任务编排界面,实现任务进度与资源占用的直观展示;

5.3 系统应支持JSON/CSV实时数据流,数据内容须包含基片编号、时间戳、测试位点、温度、真空度、电导/电阻测量值、设备状态码与警报码;系统的命令响应时间应不大于1s;系统的链路时延应不大于200ms;

5.4 系统应具备故障日志自动上传功能;系统应提供远程诊断接口;

5.5 系统应提供图形化界面并支持拖拽式操作,用户可通过流程图、节点图方式直观设计实验步骤;

系统应提供镀膜上下料、低温对接密封、分片收料等预定义模板,以降低用户学习成本;

系统应支持节点类型变更操作,节点类型须包含操作节点(如镀膜上下料、低温对接密封、分片收料)、条件分支(如阈值判断)、循环控制;

5.6 系统的实时状态反馈刷新间隔应不大于5s。系统应可视化展示设备运行状态(如温度、真空度、动作节拍进度)及流程执行进度。系统应具备异常处理机制,支持预设中断条件(如超温报警),并可触发暂停、回退或通知操作员。

响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品(包括零部件),如安装或配置了软件的,须为正版软件。

质保期

设备自安装验收合格之日起,提供不少于1年的质保期;

售后要求

竞价供应商不得私自改装配件交货,为保证货物的原装性,所有配置是原厂整机出厂,保证完整包装不开封,否则不予验收;招标人报修后,【24】小时内响应,【48】小时内派员上门现场维护,并在【72】小时内解决问题,如在规定时间内不能解决设备故障,提供相同档次、功能的设备给招标人代用。

付款方式 合同生效并甲方收到乙方开具相应发票之日起(10)个工作日内支付合同总额的(70)%作为进度款。甲方应在货物交付、安装调试、试运行及验收合格之日起(10)个工作日内向乙方支付本合同价款总额的(30)%。

交货期 合同签订后120天(自然日)内,具体时间根据学校要求提前3天(自然日)通知送货

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