项目名称: 广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年09月至2026年10月政府采购意向-金属有机物化学气相沉积设备（MOCVD）

招标公司: 广东中科半导体微纳制造技术研究院

采购标的物: 金属有机物化学气相沉积设备

项目地区：广东 佛山

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金属有机物化学气相沉积设备（MOCVD）

项目所在采购意向： 广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年09月至2026年10月政府采购意向

采购单位： 广东中科半导体微纳制造技术研究院

采购项目名称： 金属有机物化学气相沉积设备（MOCVD）

预算金额： 1600.000000万元(人民币)

采购品目：

采购需求概况：

标的名称:金属有机物化学气相沉积设备（MOCVD） 标的数量:1 主要功能或目标:用于Ⅲ？N 族化合物半导体外延薄膜生长，可实现GaN 基等外延片制备，可精准控制薄膜厚度、组分与掺杂，保障外延片晶体质量、片内 / 片间均匀性，满足半导体器件的研发与中试生产。 需满足的要求:1.设备支持8英寸衬底生长，单炉可载5片； 2.设备包含反应腔体、MO源供给管道、高精度气路控制、加热控温系统、真空系统、尾气处理、原位生长监控能力； 3.具备全自动传盘系统、原位氯气清洁的功能。

预计采购时间： 2026-10

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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